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紧凑型主动隔振平台

发布日期: 2024-04-23
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紧凑型主动隔振平台STACIS,与标准STACIS安静岛类似,该紧凑型可为通常重量超过1134 kg(2500磅)的大型仪器提供优质的亚赫兹主动地板振动消除。
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紧凑型主动隔振平台

与标准STACIS安静岛类似,该紧凑型可为通常重量超过1134 kg(2500磅)的大型仪器提供优质的亚赫兹主动地板振动消除。

主动隔振平台STACIS Compact Quiet Island(图1)

标准安静岛要求活动地板或坑的深度至少为380 mm(15 in.),而紧凑安静岛采用STACIS IIIc低剖面隔离器和定制口袋平台,以匹配低至200 mm(7.86 in.)的活动地板高度。

下图显示了标准和紧凑型安静岛高度之间的高度比较。

主动隔振平台STACIS Compact Quiet Island(图2)

紧凑型主动隔振平台

由于安装在Quiet Island®平台上的设备的复杂性、敏感性和价值,我们不保留订购的标准目录号。我们认为每个安装都是定制的工程解决方案。建议的订购程序如下:

告诉我们您要隔离的设备或仪器。由于我们的安装基础,我们很可能已经根据您的应用程序要求设计了平台设计。此外,我们与步进器、对准器、SEM和其他工具制造商保持密切联系,以了解尺寸、形状、重量变化和地板振动规格。

向我们提供地板振动数据或与我们讨论如何安排测量这些数据。

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