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SEM主动隔振平台

发布日期: 2024-04-23
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SEM主动隔振平台,是标准SEM Base主动压电振动消除平台的定制低轮廓版本。
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SEM主动隔振平台

SEM Base LP是我们的标准SEM Base主动压电振动消除平台的定制低轮廓版本。SEM Base LP更易于安装,性能好,并经过人体工程学优化。紧凑的设计便于安装,无需使用SEM内置调平脚以外的任何东西来提升扫描电子显微镜(SEM)柱。而且,一旦安装,SEM在地板上方的高度不会增加。SEM Base LP采用了我们STACIS压电技术,具有与我们的行业标准SEM Base VI相同的振动消除性能。SEM Base LP包括脚轮,专门设计用于与许多Thermo Fisher Scientific(前FEI)工具集成。

<strong>SEM主动隔振平台</strong>SEM base LP(图1)

<strong>SEM主动隔振平台</strong>SEM base LP(图3)

SEM Base LP如何与工具底部框架集成的示例

SEM主动隔振平台

兼容Thermo Fisher工具型号

SEM Base LP与许多Thermo Fisher Scientific型号兼容,包括:

▪ Apreo公司

▪ 阿奎洛斯

▪ 太阳神小型双光束

▪ Nova纳米SEM x50

▪ Quattro S系列

▪ Scios公司

▪ 特内奥

▪ Verios G4公司

▪ Verios 460、460升

▪ Versa 3D

如果您的SEM/FIB未列出,请联系TMC检查兼容性。

SEM基础优势

硬安装技术–SEM底座与内部SEM振动控制系统兼容,并积极缓解0.6 Hz开始的低频地板振动。

主动惯性振动消除–SEM Base使用高灵敏度、低频惯性速度传感器实现高水平的振动衰减,即使在安静的地板上也是如此。

采用压电技术的串行设计–串行设计和专有的高压压电技术可实现从0.6 Hz到150 Hz的宽有源带宽和惯性主动振动消除,从2 Hz开始减少90%。

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