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CMOS测试和校准

发布日期: 2023-08-11
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传感器和成像仪校准

标定CMOS,通常将待测物放于积分球的出口,并且需要屏蔽积分球内灯的直接照射。积分球开口端光源是通过多次漫反射间接提供的,从而使其有效区暴露在一个均匀辐照度下。

积分球出口处的照度是经校准的,在测试过程中,连接在积分球上的监测探测器通过辐射计给出照度读数。评估设备对已知均匀照度的响应,以验证是否符合规范,或识别和纠正工艺问题。

在这种方法中可以使用不同类型的光源。积分球可以用调节的白炽灯照明,或者光源可以设计成模拟特定的光谱分布,例如平均日光。积分球也可与单色仪耦合,用于光谱表征。

Labsphere的均匀光源积分球和积分球均匀光源系统可测试用于光伏或光导应用的半导体晶圆和器件的响应性和/或量子效率。

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