STACIS® III是一种灵活主动隔振系统。STACIS采用先进的惯性振动传感器、先进的控制算法和压电致动器,通过连续测量地面活动,然后扩展和收缩压电致动器来过滤地面运动,以实时消除振动。
STACIS**初设计用于隔离先进半导体工厂中的精密微光刻、计量和检测设备,现已成为嘈杂环境(包括但不限于半导体工厂、失效分析实验室、纳米技术研究、纳米制造设施和材料研究中心)中**敏感仪器的行业标准解决方案。
STACIS III包括一个全新的改进型数字控制器DC-2020。这款全新的**控制系统在前后面板上采用了新的双核处理器、以太网以及USB串行端口,为用户提供了现代化且易于使用的图形用户界面(GUI)。STACIS在全球已拥有数百个成功的安装案例,是理想的隔振系统,适用于对振动**为敏感的仪器。
主动隔振平台系统STACIS III的优势
STACIS比空气隔振器硬数百倍,没有任何空气隔振系统的局限性。它没有“软"悬架,与主动空气系统不同,STACIS可以放置在带有内部主动空气隔振系统的工具下方,使两个系统都在**状态下运行。
串行设计和专有的高力压电技术,可实现0.6 Hz***150 Hz的宽主动带宽和从2 Hz开始减振90%的**主动隔振性能。
主动隔振平台系统STACIS III特征
▪ **新改进型DC-2020数字控制器,提供易于使用的图形用户界面
▪ 隔振开始于0.6赫兹,1Hz时达到40%***70%的隔离率
▪ 频率2赫兹和更高时,垂直和水平隔振率大于90%
▪ 降低基础设施的要求和建设成本,即使有较大外界震动设备也可正常运行
▪ 有效隔振范围,0.6Hz到150Hz
▪ 获得众多用户的广泛认可和肯定
▪ 6向自由度硬安装设计,无需空气悬架
▪ 强大的控制系统无需定期重新校准
▪ point-of-use设计方案,与客户现有隔振系统无缝兼容
▪ 随着外部环境改变,系统自动调节以适应不同外部震动情形
▪ TMC的STACIS®技术使用压电执行器主动消振
▪ 数字控制器与基于PC的图形用户界面(GUI)
▪ 提高客户产品产量、质量、成品率。
▪ 符合RoHS标准
▪ **宽的主动隔振带宽,**的低频隔振效果
▪ 亚赫兹的主动震动消除,**主要在0.6-6Hz频段内的隔振
▪ 可堆叠式设计
▪ 主动硬式安装结构、而非软式悬浮、无低频漂移、主动元件与刚性弹簧相连
▪ 被动弹簧滤除了来自STACIS传感器的负载谐振,需要的调谐非常少,甚***无需调谐
▪ 由于阻抗不匹配,可兼容仪器内部隔离器
▪ 负载可达2000kg
▪ 市场上**的主动隔振系统
主动隔振平台性能
使用VC-C(500 μ英寸/秒,12.5 μ米/秒 RMS)的模拟振动来测试4500磅(2045千克)有效载荷
主动隔振平台规格
性能规格
主动自由度 | 6 |
主动带宽 | 0.6 Hz - 150 Hz |
被动固有频率 | 18 Hz垂直和水平 |
有效的主动共振频率 | 0.5 Hz |
1 Hz时的隔振 | 40% - 70% |
≥2 Hz时的隔振 | ≥90% |
10磅(4.5千克)步进输入后的稳定时间(减少10:1) | 0.3秒 |
内部噪音 | <0.1 nm RMSd> |
每个隔振器的工作负载范围 | 低承重能力:400 - 1100磅(181 - 499千克) |
中等承重能力:900 - 2100磅(408 - 953千克) | |
高承重能力:1900 - 4500磅(862 - 2041千克) | |
刚度(1000磅 / 454千克质量、中等承重能力隔振器) | 40,000磅/英寸(73 x 105牛/米) |
从距离隔振器**4英寸(102毫米)处发射的磁场 | <0.02 μG broadband RMSd> |
隔振器设计、尺寸、环境和效用要求
环境和安全 | 符合CE和RoHS标准 |
主动隔振元件 | **小承重能力为3300磅(1500千克)的压电致动器接收来自高压放大器的信号,其输出高达800 VDC。垂直执行器支撑隔振的有效载荷 |
被动隔振元件 | 单个硬质各向同性弹性体(无需压缩空气源) |
振动传感器元件 | 向下的地震检波器型惯性传感器,用于测量隔振器下方的地面振动,并提供与振动运动速度成正比的电压 |
主动反馈控制回路 | 在支撑隔振表面的弹簧下方测量、处理和衰减地面振动 |
隔振器尺寸(宽 x 深 x 高) | 11.75 x 12.5 x 10.8英寸 300 x 320 x 275 mm |
隔振器重量 | 75磅(34千克) |
工作温度 | 50° - 90°F 10° - 32°C |
储存温度 | -40° - 130°F -40° - 55°C |
湿度 | 30 - 60% |
系统电源要求 | 100、120、230、240 VAC 50/60 Hz AC; <600 W 符合CE标准 |
地面位移 | <480 μin. (12 μm) below 10 Hzd> |
每个系统的隔振器数量 | ***少3个 |
可选附件 | 层压不锈钢平台、框架、立管、调平装置、抗震装置、提升罩 |
DC-2020控制器规格
尺寸(宽 x 深 x 高) | 19 x 8.5 x 1.75英寸 483 x 216 x 45 mm |
重量 | 6.3磅(2.9千克) |
处理器 | 150/75 MHz双核 |
采样率 | 10 kHz |
模拟输出 | 16个通道 |
模拟输入 | 16个通道 |
状态灯 | 单个LED |
前面板端口 | 1个串行USB 2.0 1个串行Micro-USB 1个以太网RJ-45 2个BNC |
后面板端口 | 1个串行USB 2.0 1个以太网RJ-45 1个RS-232 DB-9传统串行,用于传统的STACIS 2100隔振器 |
用户界面 | 前面板液晶显示屏 超级终端上的字符菜单 适用于Microsoft Windows的扩展GUI 嵌入式以太网GUI |