主动隔振平台系统

STACIS® III是一种灵活主动隔振系统。STACIS采用先进的惯性振动传感器、先进的控制算法和压电致动器，通过连续测量地面活动，然后扩展和收缩压电致动器来过滤地面运动，以实时消除振动。

STACIS**初设计用于隔离先进半导体工厂中的精密微光刻、计量和检测设备，现已成为嘈杂环境（包括但不限于半导体工厂、失效分析实验室、纳米技术研究、纳米制造设施和材料研究中心）中**敏感仪器的行业标准解决方案。

STACIS III包括一个全新的改进型数字控制器DC-2020。这款全新的**控制系统在前后面板上采用了新的双核处理器、以太网以及USB串行端口，为用户提供了现代化且易于使用的图形用户界面（GUI）。STACIS在全球已拥有数百个成功的安装案例，是理想的隔振系统，适用于对振动**为敏感的仪器。

主动隔振平台系统STACIS III的优势

STACIS比空气隔振器硬数百倍，没有任何空气隔振系统的局限性。它没有“软"悬架，与主动空气系统不同，STACIS可以放置在带有内部主动空气隔振系统的工具下方，使两个系统都在**状态下运行。

串行设计和专有的高力压电技术，可实现0.6 Hz***150 Hz的宽主动带宽和从2 Hz开始减振90％的**主动隔振性能。

主动隔振平台系统STACIS III特征

▪ **新改进型DC-2020数字控制器，提供易于使用的图形用户界面

▪ 隔振开始于0.6赫兹，1Hz时达到40％***70％的隔离率

▪ 频率2赫兹和更高时，垂直和水平隔振率大于90％

▪ 降低基础设施的要求和建设成本，即使有较大外界震动设备也可正常运行

▪ 有效隔振范围，0.6Hz到150Hz

▪ 获得众多用户的广泛认可和肯定

▪ 6向自由度硬安装设计，无需空气悬架

▪ 强大的控制系统无需定期重新校准

▪ point-of-use设计方案，与客户现有隔振系统无缝兼容

▪ 随着外部环境改变，系统自动调节以适应不同外部震动情形

▪ TMC的STACIS®技术使用压电执行器主动消振

▪ 数字控制器与基于PC的图形用户界面（GUI）

▪ 提高客户产品产量、质量、成品率。

▪ 符合RoHS标准

▪ **宽的主动隔振带宽，**的低频隔振效果

▪ 亚赫兹的主动震动消除，**主要在0.6-6Hz频段内的隔振

▪ 可堆叠式设计

▪ 主动硬式安装结构、而非软式悬浮、无低频漂移、主动元件与刚性弹簧相连

▪ 被动弹簧滤除了来自STACIS传感器的负载谐振，需要的调谐非常少，甚***无需调谐

▪ 由于阻抗不匹配，可兼容仪器内部隔离器

▪ 负载可达2000kg

▪ 市场上**的主动隔振系统

主动隔振平台性能

使用VC-C（500 μ英寸/秒，12.5 μ米/秒 RMS）的模拟振动来测试4500磅（2045千克）有效载荷

主动隔振平台规格

性能规格

 隔振器设计、尺寸、环境和效用要求

 DC-2020控制器规格