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紧凑型主动隔振平台STACIS IIIc

发布日期: 2024-04-23
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紧凑型主动隔振平台STACIS IIIc,适合在没有或地板很低的活动地板上使用,因为标准STACIS III系统的高度会使仪器过高。
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紧凑型主动隔振平台STACIS IIIc

STACIS IIIc是STACIS III**主动隔振系统的紧凑型版本。它在减小的高度下提供了同样出色的隔振性能。

STACIS IIIc非常适合在没有或地板很低的活动地板上使用,因为标准STACIS III系统的高度会使仪器过高。

在三隔离器配置中,隔离器高度小于常规STACIS III高度的60%。在具有3个以上隔离器的系统中,高度将在60%到70%之间,具体取决于有效负载设置。有关详细信息,请参见下面的规格。

 

主动隔振平台STACIS IIIc(图1)

 

STACIS IIIc优势

与常规STACIS III系统相比,隔离器高度**多降低42%,而性能却没有降低。

STACIS比空气隔振器坚固数百倍,没有任何空气隔振系统的局限性。它没有“软"悬架,与主动空气系统不同,STACIS可以放置在带有内部主动空气隔振系统的工具下方,使两个系统都在**状态下运行。

串行设计和专有的高力压电技术 

可实现0.6 Hz至150 Hz的宽主动带宽和从2 Hz开始减振90%的**主动隔振性能。
 

性能

主动隔振平台STACIS IIIc(图2)
4500 lbs (2045 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C 
(500 μin./s, 12.5 μm/s RMS)

 

紧凑型主动隔振平台STACIS IIIc 性能规格

规格

主动自由度6
主动带宽0.6 Hz - 150 Hz
被动固有频率18 Hz垂直和水平
有效的主动共振频率0.5 Hz
1 Hz时的隔振40% - 70%
≥2 Hz时的隔振≥90%
10磅(4.5千克)步进输入后的稳定时间
(减少10:1)
0.3秒
内部噪音<0.1 nm RMSd>
每个隔振器的工作负载范围低承重能力:400 - 1100磅(181 - 499千克)
中等承重能力:900 - 2100磅(408 - 953千克)
高承重能力:1900 - 4500磅(862 - 2041千克)
刚度(1000磅/454千克质量、中等承重能力隔振器)40,000磅/英寸(73 x 105牛/米)
从距离隔振器**4英寸(102毫米)处发射的磁场<0.02 μG broadband RMSd>

 

隔振器设计、尺寸、环境和效用要求

环境和安全符合CE和RoHS标准
主动隔振元件**小承重能力为3300磅(1500千克)的压电致动器接收来自高压放大器的信号,其输出高达800 VDC。垂直执行器支撑隔振的有效载荷
被动隔振元件单个硬质各向同性弹性体(无需压缩空气源)
振动传感器元件向下的地震检波器型惯性传感器,用于测量隔振器下方的地面振动,并提供与振动运动速度成正比的电压
主动反馈控制回路在支撑隔振表面的弹簧下方测量、处理和衰减地面振动
隔振器尺寸(宽x深x高)14.45 x 14.26 x 6.16* in.
367 x 362 x 157* mm
 
* Unloaded height. Loading may decrease height by up to 0.12 in. (3 mm). Systems with ≥4 isolators may require the addition of external wedge mounts that add 1.6 in. (41 mm) to the height.
隔振器重量53磅(24千克)
工作温度50° - 90° F
10° - 32° C
储存温度-40° - 130° F
-40° - 55° C
湿度30 - 60%
系统电源要求100、120、230、240 VAC
50/60 Hz AC; <600 W
符合CE标准
地面位移<480 μin. (12 μm) below 10 Hzd>
每个系统的隔振器数量至少3个
可选附件层压不锈钢平台、框架、立管、调平装置、抗震装置、提升罩


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